Messung nach Rezept
Der Sensor führt die erhalten Messdaten direkt mit den dazugehörigen Koordinaten der Spiegel zusammen. Die notwendigen Steuersignale erzeugt der Sensor aus einem individuell im Speicher abgelegten Rezept. Ein Rezept besteht aus einer Liste von Scanobjekten, die beliebige Geometrien oder ROIs repräsentieren und nacheinander abgearbeitet werden. Zudem gibt es auch auswählbare Objekte, die Sensoreinstellungen ändern oder auf externe Events reagieren. Während der eigentlichen Messung ordnet der Sensor die Messpunkte den einzelnen Scanobjekten zu und sendet diese an einen übergeordneten PC zur Verarbeitung, das heißt es müssen keine Features mehr in großen 3D-Bilddatensätzen extrahiert werden. Zur Erstellung der Rezepte gibt es eine spezielle Software. In einer Vorschau des Messobjektes kann der Benutzer seine Scanobjekte beliebig im Scanfeld positionieren. Während der Rezepterstellung ist es zudem möglich, dieses in einem Scandurchlauf zu testen und die Messdaten in Graphen und Bildern zu analysieren. Eine Optimierung der Messzyklen und Korrektur der Scanobjekte ist damit deutlich einfacher. Die Software ermöglicht zudem den Einsatz von Stand-Alone-Lösungen für Inline Messungen und bietet die Möglichkeit, die Messaufgabe auf ein OK/NOK-Entscheidung zu reduzieren. Er reduziert Kosten und ermöglicht eine detaillierte Qualitätskontrolle durch den Inline Einsatz. Der FSS kann im automatisierten Umfeld oder als Stand-Alone-Lösung eingesetzt werden. Der Flying Spot Scanner ermöglicht es so, Taktzeiten für Messungen von Schichtdicken und Topographien auf ein Minimum zu reduzieren. Dies gilt nicht nur für ausgewählte Bereiche auf einem Messobjekt, sondern auch bei kompletten Oberflächenscans.
