Weißlichtinterferometer mit hoher lateraler Auflösung
Polytec hat sein Angebot an Weißlichtinterferometern um zwei mikroskopbasierte Ausführungen erweitert. Sie bieten eine höhere Anzahl an Messpunkten in x- und y-Richtung und dies dank der Continous Scanning Technology über den vertikalen Messbereich von 100mm. Zusätzlich zur Höhenmessung werden auch Farbinformation (RGB) geliefert.
(Bild: Polytec GmbH)
In rauer Fertigungsumgebung kompensiert die optionale EC-Technologie (Environmental Compensation) Umwelteinflüsse automatisch. Die Standardversion TopMap Micro.View (l.) ist als Einstiegsmodell konzipiert. Bei der Advanced-Version TopMap Micro.View+ (r.) können Prüfabläufe automatisiert nach bestimmtem Rezepten ablaufen, die Probenhöhe kann bis auf 370mm gemessen werden und der Messkopf ist auch separat direkt in der Fertigungslinie integrierbar.
