Bilder 3 | Topographie einer mit Ultrakurzpuls-Laser strukturierten Metalloberfläche. (Bild: Verbundprojekt eVerest)
Verkürzte Messzeiten
Ist eine Adaption des Sensorsystems in den Strahlengang einer Laserbearbeitungsanlage nicht möglich kann eine off-axis Variante verwendet werden. Eine Lösung ist der neu entwickelte Flying- Spot-Scanner. Der aktive Messkopf wurde speziell für den in-line Einsatz entwickelt und ergänzt sich ideal mit den Chrocodile 2 IT zu einem smarten Inspektionssystem. Über einen Lichtleiter wird das Licht vom Chrocodile Sensor in den Messkopf eingekoppelt und über ein ausgeklügeltes Spiegelsystem umgelenkt. Zuletzt durchläuft das Licht ein telezentrisches Objektiv, welches als Fokussiermodul auf dem Hinweg und als Messapertur für das reflektierte Licht dient. Durch das bewegliche Spiegelsystem wird der Messlichtstrahl in unterschiedlichen Winkeln abgelenkt und damit kann der Messfleck innerhalb des Blickfeldes des Objektivs frei positioniert werden. Lange Wege von Linearachsen werden durch kurze Drehbewegungen ersetzt, was zu einer extremen Verkürzung der Mess- bzw. Scanzeit führt. Durch den Einsatz von angepassten Fokussiermodulen kann der Flying Spot Scanner auch bei unterschiedlichen Anwendungsszenarien eingesetzt werden. Die Optiken zeichnen sich durch eine geringe Krümmung der Fokusebene, kleine Telezentriefehler und eine große Tiefenschärfe aus. Das Messystem kann zudem in zwei Betriebsarten genutzt werden, einem Dicken- oder Distanzmodus. Die beiden Betriebsarten können über die digitale Schnittstelle angewählt werden, womit der Umschaltprozess in einem automatischen Messablauf integrierbar ist. Ein mögliches Szenario für den Einsatz der neuen Lösung in der Lasermaterialbearbeitung ist die Messung der Topographie bei der Oberflächenbearbeitung mit Ultrakurzpulslasern. Auch hier wurde im Rahmen von F&E Verbundprojekten die Fähigkeiten der neuen Messtechnik erfolgreich getestet. Bild 2 zeigt eine mit Pikosekunden Pulsdauer strukturierte Metalloberfläche.
Fazit
Der Flying-Spot-Scanner ermöglicht es, Taktzeiten für Messungen von Schichtdicken und Topographien auf ein Minimum zu reduzieren. Dies gilt nicht nur für ausgewählte Bereiche auf einem Messobjekt, auch bei kompletten Oberflächenscans spielen die Spiegel im Messkopf ihren Geschwindigkeitsvorteil aus und führen zu einer deutlichen Verkürzung der Messzeit.
