3D-Oberflächencharakterisierung
mit hoher Wiederholpräzision
Mit dem optischen Messsystem TopMap TMS-500 können Proben auch unterschiedlichster Reflektivität und einem Durchmesser von bis zu 46mm in einer einzigen Messung erfasst werden. Für größere Proben lässt sich der Messbereich auf ca. 230x220mm erweitern. Aufgrund des vertikalen Messbereichs von 70mm in Kombination mit dem Messverfahren der Weißlichtinterferometrie werden nicht nur große Höhenunterschiede sondern auch tiefliegende Flächen, z.B. in Bohrungen, präzise erfasst. Messungen durch Glas hindurch sind ebenfalls möglich.