Inspektion eines Chipsockels

Für die Inspektion eines Chipsockels ist es erforderlich gleichzeitig die korrekte Beschriftung des Etiketts, Kratzer in der Oberfläche und die Anwesenheit und korrekte Höhe aller Pins zu kontrollieren. Bild 2 zeigt die ICI-Technologie im Vergleich zu klassischen Visionverfahren. Der unterste Abschnitt zeigt eine 3D-Rekonstruktion des Chips unter Verwendung von Stereo-Visionalgorithmen, wobei zu sehen ist, dass mit dieser Methode die Pins nicht erkennbar sind. Bessere Ergebnisse liefert die Lichtfeldtechnologie (2. Segment von unten). Die Pins werden zwar erkannt, das Etikett am Gehäuse des Chips ist jedoch nicht erkennbar. Die oberen beiden Segmente zeigen die Ergebnisse der ICI-Technologie. Durch die Kombination von Lichtfeld und Photometrie erreicht sie sowohl korrekte als auch im Detail hoch aufgelöste 3D-Rekonstruktionen. So werden bei dem Chipsockel sowohl das schwarze Gehäuse als auch die feinen metallischen Pins korrekt 3D wiedergegeben. Auch kleinste Details wie das Etikett mit Prägung werden deutlich erkannt und sogar ein Kratzer am Metallteil des Chipsockels detektiert. Gleichzeitig zur 3D-Rekonstruktion liefern die ICI-Algorithmen auch pixelgenau rektifizierte Farbinformationen und ermöglichen zusätzlich die Inspektion der Beschriftung am Etikett.

Inline 3DMikroskopie

In den letzten Jahren haben neue Inline-Verfahren für die mikroskopische 3D-Bildgebung das Interesse sowohl der Wissenschaft als auch der Industrie geweckt. Trotz zahlreicher Entwicklungen gibt es bisher nur wenige inlinefähige Lösungen. Gängige Methoden wie z.B. Fokusvariation, konfokale Mikroskopie und Weißlichtinterferometrie verwenden normalerweise ein scannendes Abtastverfahren bei dem die Abtastrichtung mit der natürlichen Transportrichtung des Objekts nicht übereinstimmt. Das macht die Verfahren ungeeignet für schnelle Inline-Inspektionsaufgaben. Bis vor kurzem war ICI auf die Prüfung von makroskopischen Merkmalen größer 15µm pro Pixel beschränkt. Die aktuellste Weiterentwicklung der Technologie ermöglicht nun den Einsatz für die Inline-3D-Mikroskopie und Auflösungen von 4µm in X/Y/Z-Richtung. Bild 3 zeigt Ergebnisse eines Ball-GridArrays (BGA) aufgenommen mit einem 4µm ICI-System und einer Inspektionsgeschwindigkeit von 27mm/s.