Multisensor mit 0,02µm Auflösung
Das Multisensorgerät MiScan Vision System kommt in den Versionen Apex und Hyper auf den Markt. Es kombiniert präzise non-taktile Messung bei hohem Messdurchsatz mit hochgenauem taktilen Messen.
Bei der Apex Variante kommt der SP25M Scan-Messkopf zum Einsatz, die Version Hyper wartet mit dem hochgenauen MPP-Nano Scan-Messkopf auf. Letzterer bringt es auf eine Antastabweichung von nur 0,6µm sowie eine Scanning-Antastabweichung von 0,6µm, gepaart mit der hohen Auflösung von 0,02µm. Der MPP-Nano kann dabei mit Tastern von 2 bis 9mm Länge und mit 125 bis 500µm Tastspitzendurchmesser bestückt werden.