Die Weißlicht-Interferometer der Serie Interferometer IMS5200-TH von Micro-Epsilon werden für nm-genaue Schichtdickenmessungen von 1 bis 100µm mit einer Linearität von <±100nm eingesetzt. Mit einer Messrate von bis zu 24kHz sind sie ideal für dynamische Messaufgaben. Zudem ist eine Multi-Peak-Messung von bis zu fünf dünnen Schichten möglich. Sensor und Controller werden werkseitig aufeinander abgestimmt und kalibriert.
Die Zukunft des Qualitätsmanagements liegt nicht in mehr Daten, sondern in besseren Entscheidungen.
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