Dr. Ralf Kruse

Die ultraschnell fokussierende Flüssigkeitslinse Taglens von Mitutoyo mit einer speziell dafür entwickelten gepulsten Lichtquelle (PLS = Pulsed Light Source) für den sichtbaren Bereich ist schon seit einiger Zeit auf dem Markt verfügbar. Diese Kombination zeichnet sich dadurch aus, dass man verschiedene bildoptimierende Techniken wie Fokusstacking, Multifokus oder Autofokus ohne mechanisch sich bewegende Komponenten teilweise in Echtzeit erreichen kann. Neu entwickelt wurde nun eine PLS, die im nahen Infrarot-Bereich bei 1.300nm arbeitet. Bei diesen Wellenlängen werden viele Materialien transparent. So eröffnen sich damit Anwendungsfelder, wie die Inspektion von modernen, gestapelten siliziumbasierten Halbleiter-Speichern oder von MEMS nach dem Packaging Prozess. Zudem lässt sich die Taglens mit PLS-IR auch für die Ausrichtung von übereinander angeordneten Wafern einsetzen, indem entsprechende Justiermarken durch ein Siliziumsubstrat hindurch auch auf verschiedenen Ebenen betrachtet werden können.

Mitutoyo Europe GmbH