3D-Messung von Oberflächenrauheit direkt in der Fertigung

3D-Messung von Oberflächenrauheit direkt in der Fertigung

Insbesondere für Inline-Anwendungen hat Polytec die TopMap-Familie Weißlichtinterferometer um das TopMap Rapid.View ergänzt. Je nach Aufgabe und Messbereich sind Messzeiten im Sekundenbereich realisierbar.

Typische Anwendungsbeispiele für die Inline-Weißlicht-Interferometer TopMap Rapid.View sind Messungen mit hoher lateraler Auflösung, z.B. um Mikro-Strukturen auf Waferoberflächen zu detektieren. (Bild: Polytec GmbH)

Typische Anwendungsbeispiele für die Inline-Weißlicht-Interferometer TopMap Rapid.View sind Messungen mit hoher lateraler Auflösung, z.B. um Mikro-Strukturen auf Waferoberflächen zu detektieren. (Bild: Polytec GmbH)

Bei einem Höhenmessbereich von 400µm ist das mikroskopbasierte System mit seiner hohen lateralen Auflösung ideal zur präzisen Inline-Rauheitsmessung geeignet. Gescannt wird in Echtzeit unter Nutzung komplexer Algorithmen auf Grafikkarten. Verkleinert man das Bildfeld, kann die Bildwiederholungsfrequenz bis auf 3kHz beschleunigt werden. Das Weißlichtinterferometer erkennt feinste Oberflächenstrukturen und hält mit schnellen Fertigungstakten Schritt. Der Messkopf, kann zudem wie ein Sensor separat montiert und flexibel positioniert werden. Dank vieler Exportmöglichkeiten können die 3D-Messdaten der Weißlichtinterferometer mit jeder geeigneten Auswertesoftware bearbeitet werden. Besonders einfach wird der Umgang mit der TMS Software von Polytec, die zahlreiche Möglichkeiten bietet, um die Messergebnisse zügig und ISO-konform auszuwerten. Hier lassen sich die Einstellungen für die Datenaufnahme (Messposition, Beleuchtungseinstellungen, Kameraparameter …) zusammen mit Auswerteparametern (Nachbearbeitungsschritte, Visualisierungs-/Exportmöglichkeiten …) für spezielle Messaufgaben definieren und abspeichern. Somit werden aus komplexen Oberflächenanalysen einfache Ein-Klick-Lösungen. Das spart besonders im Produktionsumfeld Zeit, vermeidet Bedienfehler und auch Nicht-Fachleute können mit den Messsystemen arbeiten. Die Bauteillage innerhalb des Messfelds wird automatisch erfasst und der Bediener kann die Messung mit einem einfachen Mausklick starten. Darüber hinaus sind Änderungen innerhalb eines vorhandenen Rezepts mit einem zusätzlichen Tool einfach zu überwachen. So lassen sich erwünschte und unerwünschte Änderungen leicht nachvollziehen.

Thematik:
Polytec GmbH
www.polytec.de

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