Technologiezentrum für Halbleiter-Messtechnik in Dresden

IPMS AMAT Metrology Hub
Bild: Fraunhofer-Institut IPMS

Applied Materials und das Fraunhofer IPMS geben eine Zusammenarbeit zur Gründung eines Technologiezentrums für Halbleitermetrologie und Prozessanalyse bekannt. Das Technologiezentrum, welches am Center Nanoelectronic Technologies (CNT) des Fraunhofer IPMS in Dresden angesiedelt sein wird, wird mit eBeam-Metrologiegeräten von Applied Materials ausgestattet.