
Die Weißlicht-Interferometer der Serie Interferometer IMS5200-TH von Micro-Epsilon werden für nm-genaue Schichtdickenmessungen von 1 bis 100µm mit einer Linearität von <±100nm eingesetzt. Mit einer Messrate von bis zu 24kHz sind sie ideal für dynamische Messaufgaben. Zudem ist eine Multi-Peak-Messung von bis zu fünf dünnen Schichten möglich. Sensor und Controller werden werkseitig aufeinander abgestimmt und kalibriert.

















