Röntgenmikroskop im Submikrometerbereich
Mit der Metrology Extension (MTX) für das Xradia 620/520 Versa Röntgenmikroskop können dimensionelle Messungen mit einer Genauigkeit durchgeführt werden, die weit über die Grenzen der konventionellen Röntgen-Computertomographie (CT) hinausgeht. Mit einer einfachen Kalibrierung auf einen Maximum Permissible Error (MPE)-Wert von (1,9 + L/100) m eröffnet das Gerät neue Anwendungsfelder für Röntgenmikroskope in der industriellen Fertigung und Grundlagenforschung. MTX wird zusätzlich auch als Upgrade-Option angeboten.
