Missing Link


Autarkes Closed-Loop-System

Der wesentliche Vorteil dieser Konfiguration ist der minimale Platzbedarf des gesamten Systems bei gleichzeitig hoch präziser und schneller Fokussierung. Dadurch kann im Falle eines sich kontinuierlich bewegenden Objektes, wie z.B. ein rotierender Wafer, stets genau da fokussiert werden, wo auch das Bild aufgenommen wird. Durch die direkte Kopplung von AF-Sensor und Piezomodul ergibt sich ein Closed-Loop-System, das autark arbeitet und sicherstellt, dass das Objekt stets innerhalb der Schärfentiefe des Objektivs bleibt. Filter innerhalb des Systems sorgen dafür, dass der Laser nicht im Kamerabild zu sehen ist.

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