
Rigaku und imec haben eine auf drei Jahre angelegte Zusammenarbeit zur Entwicklung neuer Röntgen-Messtechnik- und Inspektionslösungen für die Halbleiterindustrie vereinbart. Die Kooperation umfasst unter anderem Metrologie für CFET-Bauelemente, Reticle-Messtechnik für EUV-Lithografie sowie die Bewertung von Nanostrukturen in 3D-DRAM.

















