Scankopf mit integriertem
MEMS-Scannerspiegelarray
Drei Fraunhofer-Institute haben eine ToF-Messsystem mit einer adaptiv arbeitenden MEMS zu einem neuartigen Laserscannersystem für den Außenbereich vereint. Softwarealgorithmen analysieren ein schnell erfasstes 3D-Übersichtsbild und lenken den Scanner auf interessante Bildausschnitte, sodass diese in hoher Auflösung abgetastet werden können. Das Scansystemkonzept basiert auf einem in vertikaler Richtung resonant scannenden 1D-MEMS-Array, welches mittels eines konventionellen elektrodynamischen Antriebs geschwenkt bzw. gedreht werden kann. Durch Einsatz von 22 Empfangsspiegeln mit Einzelaperturen und integrierter Spiegelpositionssensorik konnte der optische Füllfaktor erhöht und so die technische Voraussetzung geschaffen werden, um Messungen auch aus Entfernungen bis ca. 30m durchzuführen.
