Nach dieser ersten Validierung führte ARCNL eine Overlay-Messung mithilfe einer Dark-Field-Off-Axis-DHM an speziellen Teststrukturen durch. In einem ähnlichen Aufbau nutzt die DHM eine fasergekoppelte Superkontinuum-Lichtquelle, deren Spektrum mithilfe eines AOTF auf eine Wellenlänge von 632nm und eine Bandbreite von 3nm gefiltert wird. In diesem Fall teilt ein 90:10-Strahlteiler den Strahl in einen Beleuchtungs- und einen Referenzstrahl auf. Ein nicht-polarisierender 50:50-Strahlteiler wird in beiden Strahlengängen verwendet, um die +1. und -1. Beugungsordnung parallel aufzunehmen. Letztlich zeichnet die Highspeed-Kamera von Emergent eine Sequenz von Hologrammen auf. Jedes Hologramm liefert eine zurückgewonnene Phase, die anschließend interpoliert wird, um die kontinuierliche Phasenvariation zu erhalten. Diese wiederum dient zur Berechnung des Kontrastverlusts. Zusätzlich zu ihrer hohen Geschwindigkeit und kompakten Bauform verfügt die HZ-2000-G-M über GPU-Direct-Technologie, sodass die aufgezeichneten Daten direkt an die GPU weitergegeben und in Echtzeit verarbeitet werden können. Diese Fähigkeit reduziert die Latenzzeit erheblich und maximiert die Effizienz der Datenverarbeitung.
Ausblick
„Vor zehn Jahren hätte man das Experiment aufgrund der enormen Datenmenge nicht umsetzen können“, sagt Cromwijk. „Man hätte vielleicht eine Zeile auslesen können, aber nicht das gesamte Bildfeld.“ Das experimentelle Konzept ist so ausgelegt, dass es nicht nur die für immer kleinere Halbleiterstrukturen erforderliche Auflösung liefert, sondern auch einen größeren Wellenlängenbereich nutzt, um mehrere Farben gleichzeitig zu betrachten. Ein drittes Ziel sind sehr schwache Signale, wie Cromwijk erläutert: „Wenn etwa eine undurchsichtige Schicht dazwischenliegt, sodass das vom darunterliegenden Gitter gestreute Licht sehr schwach ist, kann man mit der holografischen Technik einfach mehr Licht in den Referenzstrahl geben und damit das Signal verstärken.“ Angesichts des Erfolgs der ersten Experimente zur genaueren Overlay-Messtechnik sehen die Forschenden weitere Verbesserungsmöglichkeiten der Technologie.
