Mit dem neu gestarteten Förderprojekt BRIE entwickelt das CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik eine neue Technik für MEMS-Infrarot-Emitter auf Basis von Silicon-on-Insulator-(SOI-)Wafern. Als Strahlungsquelle dient eine dünne, hoch dotierte Siliziummembran, die partiell vom Chiprahmen freigestellt ist, sodass eine brückenförmige Heizer-Membran entsteht.
CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH
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