Weißlichtinterferometrie für extrem glatte Oberflächen

 Die Serie MarSurf WI umfasst drei neue Geräte. (Bild: Mahr GmbH)

Bild 2 | Die Serie MarSurf WI umfasst drei neue Geräte. (Bild: Mahr GmbH)

 

Minimales Rauschen von 80pm

Dadurch, dass ICA eine exakte Bestimmung der Höhenwerte ermöglicht, minimiert sich gleichzeitig das Rauschen, was für eine sehr hohe Datenqualität sorgt. Durch dieses sehr gute Signal-Rausch-Verhältnis erreicht ICA das Qualitätslevel eines PSI mit nur 80 Pikometern (STR-Surface-Topografie-Repeatability), hat dabei aber eine deutlich bessere Stabilität und höhere Zuverlässigkeit. Zum Vergleich: Bisherige Einstiegsgeräte liegen beim einem STR von rund 150 Pikometern. Zudem verfügen die neuen Interferometer neben einer maximalen Zuverlässigkeit über eine hohe Dynamik auch bei geringer Intensität.

Drei Geräte zum Start

Zum Frühjahr stehen nun drei neue Mahr Weißlichtinterferometer, die auf der ICA-Technologie basieren, zur Verfügung und ermöglichen Messungen bis in den Subnanometerbereich. Das MarSurf WI 50 M ist die manuelle Einstiegslösung in die neue Serie. Es verfügt über eine HDR-Funktionalität und ermöglicht schnelle Messungen. Die Steuerung ist im Stativ integriert, und der Kipptisch sowie die manuellen x/y/z-Achsen erleichtern Anwendern die Verstellung und Fokussierung. Weitere Pluspunkte sind das kompakte Design, der große Bauraum, sowie ein interessantes Preis-Leistungs-Verhältnis. Die beiden Oberflächenprofis für den Nanometerbereich MarSurf WI 50 und WI 100 erfassen dank ihrer hohen Messgeschwindigkeit bei voller Auflösung auch Rauheiten von extremst glatten Oberflächen. Ihre HD-Stitching-Funktion sorgt für eine konstant hohe Auflösung auch bei großen Messflächen. Die integrierte Kollisionsdetektion bietet Sicherheit in alle Richtungen – für das Werkstück ebenso wie für das Gerät selbst. Das WI 100 verfügt zusätzlich über einen erweiterten Arbeitsbereich in x/y/z-Richtung für besonders große Probevolumina. Nutzer betätigen hier einfach die seitliche Verstellung, mit der sich die zusätzliche manuelle Z-Achse verfahren lässt. So werden auch XXL-Bauteile messbar, und mit seiner speziellen Automatiksoftware macht das Gerät auch nutzerunabhängige und vollautomatische Serienmessungen möglich.

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